Моделирование электрических свойств процесса изготовления пористого кремния методом электролитического анодирования
Loading...
Files
Date
2012
Authors
Зубко, Е. И.
Зубко, Є.
Zubko, Е.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КНТУ
Abstract
Разработан комплекс математического имитационного моделирования, которое описывает динамические изменения электрических свойств кремниевых пластин с разной структурой и уровнем легирования при изготовление пористого кремния методом электролитического анодирования. Розроблено комплекс математичного імітаційного моделювання, що описує динамічні зміни електричних властивостей кремнієвих підкладок з різною структурою й рівнем легування при виготовленні пористого кремнію методом електролітичного анодування. The complex of mathematical imitating modelling which describes dynamic changes of electric properties of silicon substrates with different structure and level doping at manufacturing of porous silicon by a method electrolytic anodizings is developed.
Description
Keywords
модель, пористый кремний, емкость, сопротивление
Citation
Зубко, Е. И. Моделирование электрических свойств процесса изготовления пористого кремния методом электролитического анодирования / Е. И. Зубко // Збірник наукових праць Кіровоградського національного технічного університету. Техніка в сільськогосподарському виробництві, галузеве машинобудування, автоматизація. - Кіровоград: КНТУ, 2012. - Вип. 25, ч. 1. - С. 343-350.