Измерение толщины кластерного слоя методом кварцевого резонатора
Loading...
Files
Date
2010
Authors
Коломиец, Л. В.
Ковальчук, В. В.
Грабовський, О. В.
Жеребцова, Л. Н.
Kolomiec, L.
Kovalchuk, V.
Graboskiy, О.
Gherebcova, L.
Коломієць, Л.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КНТУ
Abstract
В статье описан метод измерения толщины кластерного в процессе его изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях вакуумного осаждения кремния применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволяет измерять толщину напыленного слоя с точностью ~5%. Получено хорошее согласие результатов измерения по кварцевому резонатору с данными по измерению углов многократного рассеяния протонов в кремниевых пластинах. В статті описано метод вимірювання товщини кластерного шару в процесі його виготовлення, що грунутється на застосуванні кварцевого резонатора. Показано, що в умовах вакумного осідання кремнію застосування кварцевого резонатора зі слабкою залежністю частоти від температури дозволяє виміряти товщину напилюванного шару із точністю ~5%. Отримано добре узгодження результатів вимірювання по кварцевому резонатору з данними по вимірюванню кутів багатократного розсіювання протонів у кремнієвих пластинах. In article it is described the method of measurement of a thickness кластерного a layer in the course of its manufacturing, based on application of the quartz resonator is described. It is shown, that in the conditions of vacuum sedimentation of silicon application of the quartz resonator with weak dependence of frequency on temperature allows to measure a thickness of the raised dust layer with accuracy of ~5 %. The good consent of results of measurement on the quartz resonator with data on measurement of corners of repeated dispersion of protons in silicon plates is received.
Description
Keywords
кварцевый резонатор, контроль, толщина, кластерный слой
Citation
Измерение толщины кластерного слоя методом кварцевого резонатора / Л. В. Коломиец, В. В. Ковальчук, О. В. Грабовський, Л. Н. Жеребцова // Збірник наукових праць Кіровоградського національного технічного університету. Техніка в сільськогосподарському виробництві, галузеве машинобудування, автоматизація. - Кіровоград: КНТУ, 2010. - Вип. 23. - С. 17-22.