Дослідження структури матеріалів, що утворюються за випаровування у вакуумі скла системи миш’якселен для подальшого використання в автомобільній галузі
Loading...
Files
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
ЦНТУ
Abstract
Досліджено хімічний склад тонкоплівкових матеріалів, що напилювалися на змінні підкладки за умов термічного випаровування скла миш’як-селен різних модифікацій. Виявили що за використання ефузійного випаровувача структура пару скла, що включає менше 42 атомних % миш’яку, з часом збагачується As, скло з більшим вмістом збагачується селеном. Нерівномірний характер випаровування пояснюється відмінностями атомної будови стекол та їхніх розплавів. Thin films Ar-Se systev are widely usedin optoelectronics, in the production of microchips, there fore they are activelly used in modern automotive production. Improvement of methods of obtaining films with a renewable comprosition is an urgent problem. The chemical composition of amorphous films sputter on changeable substrates at the thermal evaporation of arsenic(n)-selenium(100-n) glasses has been investigated and has been analyzed.
Description
Keywords
аморфні плівки, імпульсне термічне напилення, просте термічне напилення, хімічний склад, amorphous films, pulsed thermal sputtering, simple thermal sputtering, chemical composition
Citation
Тарандушка, Л. А. Дослідження структури матеріалів, що утворюються за випаровування у вакуумі скла системи миш’якселен для подальшого використання в автомобільній галузі / Л. А. Тарандушка, В. С. Ковтуненко // Центральноукраїнський науковий вісник. Технічні науки : зб. наук. пр. - Кропивницький : ЦНТУ, 2024. - Вип. 10(41). - Ч. 1. - С. 40-45.