Моделирование электрических свойств процесса изготовления пористого кремния методом электролитического анодирования
| dc.contributor.author | Зубко, Е. И. | |
| dc.contributor.author | Зубко, Є. | |
| dc.contributor.author | Zubko, Е. | |
| dc.date.accessioned | 2016-04-04T10:45:16Z | |
| dc.date.available | 2016-04-04T10:45:16Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.description.abstract | Разработан комплекс математического имитационного моделирования, которое описывает динамические изменения электрических свойств кремниевых пластин с разной структурой и уровнем легирования при изготовление пористого кремния методом электролитического анодирования. Розроблено комплекс математичного імітаційного моделювання, що описує динамічні зміни електричних властивостей кремнієвих підкладок з різною структурою й рівнем легування при виготовленні пористого кремнію методом електролітичного анодування. The complex of mathematical imitating modelling which describes dynamic changes of electric properties of silicon substrates with different structure and level doping at manufacturing of porous silicon by a method electrolytic anodizings is developed. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Зубко, Е. И. Моделирование электрических свойств процесса изготовления пористого кремния методом электролитического анодирования / Е. И. Зубко // Збірник наукових праць Кіровоградського національного технічного університету. Техніка в сільськогосподарському виробництві, галузеве машинобудування, автоматизація. - Кіровоград: КНТУ, 2012. - Вип. 25, ч. 1. - С. 343-350. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://dspace.kntu.kr.ua/handle/123456789/1385 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | КНТУ | uk_UA |
| dc.subject | модель | uk_UA |
| dc.subject | пористый кремний | uk_UA |
| dc.subject | емкость | uk_UA |
| dc.subject | сопротивление | uk_UA |
| dc.title | Моделирование электрических свойств процесса изготовления пористого кремния методом электролитического анодирования | uk_UA |
| dc.title.alternative | Моделювання електричних властивостей процесу виготовлення пористого кремнію методом електролітичного анодування | uk_UA |
| dc.title.alternative | Design of electric properties of process of making of porous silicon the method of electrolytic anodization | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |