Автоматизація керування процесом катодного розпилення по каналу товщини плівки
| dc.contributor.author | Луньов, Володимир Миколайович | |
| dc.contributor.author | Lunyov, Volodymyr | |
| dc.date.accessioned | 2025-02-03T08:14:47Z | |
| dc.date.available | 2025-02-03T08:14:47Z | |
| dc.date.issued | 2024-12 | |
| dc.description.abstract | У цій магістерській роботі запропоновано вирішення важливої задачі щодо вдосконалення системи стабілізації технологічного параметра установки для синтезу органічних тонкоплівкових структур. Однак варто зазначити, що досягнення високої якості продукції та зменшення кількості дефектних виробів неможливе без врахування специфіки роботи цієї установки. This master's work offers a solution to an important problem regarding improvement of the system of stabilization of the technological parameter of the installation for synthesis of organic thin film structures. However, it is worth noting that achieving high product quality and reducing the number of defective products impossible without taking into account the specifics of the operation of this installation. | |
| dc.identifier.citation | Луньов, В. М. Автоматизація керування процесом катодного розпилення по каналу товщини плівки : кваліфікаційна магістерська робота : спец. 174 «Автоматизація, комп’ютерно-інтегровані технології та робототехніка» / наук. кер. О. М. Сербул ; Центральноукраїн. нац. техн. ун-т. – Кропивницький : ЦНТУ, 2024. – 81 с. | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.kntu.kr.ua/handle/123456789/15551 | |
| dc.language.iso | uk | |
| dc.publisher | ЦНТУ | |
| dc.subject | катодне розпилення | |
| dc.subject | система автоматичного керування | |
| dc.subject | товщина плівки | |
| dc.subject | cathodic sputtering | |
| dc.subject | automatic control system | |
| dc.subject | film thickness | |
| dc.title | Автоматизація керування процесом катодного розпилення по каналу товщини плівки | |
| dc.title.alternative | Automated control of the cathodic sputtering process along the film thickness channel | |
| dc.type | Other |